設備案内
クリーンルーム
弊社では、お客様のテスト用に
デモ用コーター装置を用意しております。
スリットコーター
(Max基板サイズ400mm×500mm)
VCD(減圧乾燥機)
HP(Max180℃)
膜厚測定器(FILMETRICS製)
低粘度・高粘度対応の各種スリットノズル
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スリットコーター
(Max基板サイズ400mm×500mm)
VCD(減圧乾燥機)
HP(Max180℃)
膜厚測定器(FILMETRICS製)
低粘度・高粘度対応の各種スリットノズル
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